ファーストゲート株式会社　総合カタログ

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての
バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、
Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。

ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション
ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、
元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の
不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。

部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、
これらの問題を未然に防ぐ必要があります。
高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。

【特長】
■各メーカーのイオン注入装置に対応
■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供
■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系
薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、
ご選択頂けます。
また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve)

【特長】
■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合
■セットした流量をモニタリングしフィードバック
■高再現性と高信頼性を実現

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。

「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの
特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持っており、
各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。

使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに最適なポンプを
提供致します。

【特長】
■低脈動
■210℃まで対応可能
■テフロン製ポンプ
■金属、O-リング等一切使用していない
■コンタミ等の発生の心配がない　など

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が
オールテフロン製です。

制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で
使用されています。
また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、
CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー
も取り揃えております。

【特長】
■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御
■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能
■被計測流体の特性による調整、設定が不要
■30％以内の気体含有液を制御可能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板
表面検査装置／サファイア表面検査装置です。

透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。

センサ自動焦点機構で、高精度な表裏分離を可能にしています。

対応基板サイズは、最大200mm×200mmです。
200mm以上をご希望の場合は、ご相談下さい。

【特長】
■自動搬送
■高精度な表裏分離
■高性能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置
マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。

小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで
難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。

また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を
お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。

【特長】
■従来にない高速、高精度、低価格
■省スペース
■測定時間短縮　など

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

『ファーストゲート株式会社　総合カタログ』は、半導体製造装置、検査装置の
輸出入販売、技術サポートなどを行っている、ファーストゲート株式会社の
総合カタログです。

当カタログでは、半導体製造部品「テフロン製フローメーター」や、「フローコントローラー」、
「テフロン製薬液供給ポンプ」、「各種ヒータ」等の製品をご紹介しています。

【掲載内容】
■会社概要
■沿革
■プロダクトラインアップ

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）