ファーストゲート株式会社 フローコントローラー
- 最終更新日：2019-04-18 17:26:35.0
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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が
オールテフロン製です。
制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で
使用されています。
また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、
CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー
も取り揃えております。
【特長】
■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御
■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能
■被計測流体の特性による調整、設定が不要
■30％以内の気体含有液を制御可能
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報フローコントローラー
【ラインアップ】
■LFC-7000シリーズ
■MFC-8100シリーズ
■CMFC-9000シリーズ
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置の流体制御に ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログフローコントローラー
取扱企業フローコントローラー
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●半導体製造装置、検査装置の輸出入販売、技術サポート ●半導体製造装置関連商品の輸入販売 ●イオン注入装置ディスク再生サービス
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