フローコントローラーファーストゲート

全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です

Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が
オールテフロン製です。

制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で
使用されています。
また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、
CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー
も取り揃えております。

【特長】
■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御
■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能
■被計測流体の特性による調整、設定が不要
■30％以内の気体含有液を制御可能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

関連リンク - http://www.fastgate.co.jp/Malema/index.html

基本情報フローコントローラー

【ラインアップ】
■LFC-7000シリーズ
■MFC-8100シリーズ
■CMFC-9000シリーズ

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用途／実績例	半導体製造装置の流体制御に ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。