代表的な表面分析であるEPMAやAESなどを解説した技術資料
技術資料『表面分析の概要』は、近年、製品開発や不具合の対応などで益々重要になっている、表面や界面の構造・組成の把握に用いられている、様々な「表面分析方法」について掲載した資料です。
本資料では、表面分析の基礎の基礎として、代表的な表面分析であるEPMAやAES、XPS、SIMS、TOF-SIMSを簡潔に解説しています。
【掲載内容】
■表面分析の種類と特徴
・EPMA
・AES
・XPS ほか
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基本情報技術資料『表面分析の概要』
【掲載内容概要】
■はじめに
・表面分析方法について
■表面分析の種類と特徴
・各表面分析の特徴
・EPMA（電子プローブマイクロアナライザー）
・AES（オージェ電子分光法）
・XPS（X線光電子分光法）
・SIMS（二次イオン質量分析法）
・TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法）
■おわりに
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