シャフトモーター駆動グラナイトエアーベアリングステージジイエムシーヒルストン

クリーンルーム対応！組み合わせでX-Yテーブルとしても使用可能な一軸テーブル

本製品は、クリーンルーム対応の完全非接触構造の一軸テーブルです。

エアーベアリングステージの素材にグラナイトを用いシャフトモーターに
よって駆動します。

組み合わせでX-Yテーブルとして使うことも可能です。

【特長】
■驚異の低速度むら
■オーバーシュートのない高速の立ち上がり
■完全非接触
■経年変化が全くない
■シャフトモーター駆動

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.ghc.co.jp/product/stage.html

基本情報シャフトモーター駆動グラナイトエアーベアリングステージ

【ラインアップ】
■ピコメーターシリーズ
■ナノシリーズ
■10ナノシリーズ
〔XYステージ〕
■ピコメーターシリーズ
■ナノシリーズ
■10ナノシリーズ
■大型でぃすぷれいパネル用テーブル
　・液晶用
　・PDP用

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