ナプソン株式会社 接触式 抵抗測定器『WS-8800』

ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法!全自動測定ソーター

『WS-8800』は、フルオートタイプ(全自動測定システム)の接触式
抵抗測定器です。

厚さ測定、PN測定、温度測定に対応可能です。(シリコンウエハ)
カセット数はいくつでも対応することができます。

また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■全自動
■セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
■厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定)

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報接触式 抵抗測定器『WS-8800』

【測定仕様】
■測定対象:半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
■測定サイズ:3~8インチ(または12インチ)
■測定範囲
 ・抵抗率:100μ~1MΩ/cm
 ・シート抵抗:1m~10MΩ/sq

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

カタログ接触式 抵抗測定器『WS-8800』

取扱企業接触式 抵抗測定器『WS-8800』

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ナプソン株式会社

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板、ソーラセル基板などの抵抗率/シート抵抗測定システムを開発・製造・販売しております。

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