ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法!全自動測定ソーター
『WS-8800』は、フルオートタイプ(全自動測定システム)の接触式
抵抗測定器です。
厚さ測定、PN測定、温度測定に対応可能です。(シリコンウエハ)
カセット数はいくつでも対応することができます。
また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。
【特長】
■全自動
■セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
■厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定)
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報接触式 抵抗測定器『WS-8800』
【測定仕様】
■測定対象:半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
■測定サイズ:3~8インチ(または12インチ)
■測定範囲
・抵抗率:100μ~1MΩ/cm
・シート抵抗:1m~10MΩ/sq
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログ接触式 抵抗測定器『WS-8800』
取扱企業接触式 抵抗測定器『WS-8800』
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