ナプソン株式会社　製品案内

ナプソン株式会社は、電子機械装置（半導体関連測定機器）の研究開発、
製造販売、輸出・輸入を行っている会社です。

抵抗率、シート抵抗の測定方法としては接触式と非接触式が有り、当社では
本格的に両方式の開発・製造・販売を行っております。

手動式から全自動、ノンストップのインラインまで豊富にラインアップ
しており、競合他社では対応していない、詳細なカスタマイズ対応も
行っております。

ぜひ、お気軽に当社までお問い合わせ下さい。

【事業内容】
■電子機械装置（半導体関連測定機器）の研究開発、製造販売、輸出・輸入

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）

『WS-8800』は、フルオートタイプ（全自動測定システム）の接触式
抵抗測定器です。

厚さ測定、PN測定、温度測定に対応可能です。（シリコンウエハ）
カセット数はいくつでも対応することができます。

また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■全自動
■セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
■厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率(比抵抗)測定）

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『NC-80MAP』は、複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の
抵抗測定器です。

搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により、変更可能です。
エッジ8mmからの多点測定も可能です。
また、非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えずに測定できます。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■非接触式
■セミオートタイプ
■多点測定システム

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『RT-70Vシリーズ』は、測定テスター（RT-70V）と測定ステージの
組み合わせ測定器です。

接触式のため、針状のプローブヘッドをサンプルに接触させ測定実施します。
「RT-70Vテスター」は、JOGダイアルによる簡単な操作で厚さ・温度・PN入力
をすることができます。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■接触式
■マニュアルタイプ
■1点観測システム

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『EC-80』は、プローブ間にサンプルを入れるだけで測定可能な、簡易
測定器です。

抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え出来ます。
また、JOGダイアルによる簡単な測定条件設定可能です。
プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを
選択となります。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■非接触式
■マニュアルタイプ
■1点測定システム

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『DUORES（デュオレス）』は、持ち運びも測定実施も簡単な、ハンディ
タイプシート抵抗測定器です。

測定する対象に合わせ、2種のプローブ（非破壊式・接触式）を交換使用。
プローブを載せるだけ、当てるだけで自動測定いたします。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。
また、本体＋非破壊式プローブのみ、本体＋接触式プローブのみでも販売
しております。

【特長】
■接触式
■2プローブ交換使用
■ハンディタイプ

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『NC-700』は、PETフィルムなどの基材上の導電膜のシート抵抗を
インラインで連続測定する測定器です。

必要なライン数（＝プローブ数）での製作が可能なため、研究開発から
生産ラインまで幅広い用途に対応します。
オフセットフリー仕様のため、測定値がシフトせずに最長24hの連続測定
ができます。
既設の搬送装置や成膜装置などへの取り付けにも対応。

また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■インラインタイプ（非接触式）
■組込用測定モジュール
■幅広い用途に対応
■最長24hの連続測定も可能

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『FLA-200』は、非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。

ウエハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。
厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス
の測定に対応 （ASTM準拠）しており、CSVファイルでのデータ出力も可能
です。

また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア
■5mmφコア静電容量式プローブによる、高精度測定
■12,000点スキャン/60秒以内の高速測定

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『PN-8LP』は、光起電力方式のペンタイプ非接触PN判定器です。

レーザー光照射で非接触のため、サンプルにダメージを与えません。
電池式（単3乾電池）なので、持ち運びに便利です。
また、ボタンを押すだけでPN判定が可能です。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■ペンタイプ
■非接触式
■電池式
■シンプル操作

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『SRS-2010』は、2探針法の拡がり抵抗測定システムです。

試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、
キャリア濃度分布を求めることが可能です。
数mm角の領域から、数百μm程度のパターン領域の分析ができます。
測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて低効率を算出します。

お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。

【特長】
■2探針法
■パターン領域の分析が可能
■抵抗率を算出

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