ウエハフラットネス測定システム！
『FLA-200』は、非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。
ウエハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。
厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス
の測定に対応 （ASTM準拠）しており、CSVファイルでのデータ出力も可能
です。
また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。
【特長】
■2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア
■5mmφコア静電容量式プローブによる、高精度測定
■12,000点スキャン/60秒以内の高速測定
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報測定器『FLA-200』
【測定仕様】
■測定対象
・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
■測定サイズ
・3～8インチ
■測定範囲
・Thickness: 200 –1200μm
・Bow : +/-350μm
・Warp: 350μm
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログ測定器『FLA-200』
取扱企業測定器『FLA-200』
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