カスタマイズ可能な拡がり抵抗測定器
『SRS-2010』は、2探針法の拡がり抵抗測定システムです。
試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、
キャリア濃度分布を求めることが可能です。
数mm角の領域から、数百μm程度のパターン領域の分析ができます。
測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて低効率を算出します。
お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。
【特長】
■2探針法
■パターン領域の分析が可能
■抵抗率を算出
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報測定器『SRS-2010』
【測定仕様】
■測定対象：半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
■測定サイズ：お問い合わせください
■測定範囲
・1～10E+9(Ω) [拡がり抵抗]
・印加電圧：10(mV)検出電流：10(pA)～10(mA)
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログ測定器『SRS-2010』
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