シグマ光機株式会社 ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に!リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分解能の位置決め装置です。

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。
ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。
可動域は20mm~300mm(分解能によりラインナップが異なります。)
コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。
各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。

真空対応品もラインナップしております。
真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。

基本情報ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

OPIE'19内のポジショニングEXPOに出展致しました。
日時:2019年4月24日から26日
   10:00~17:00
場所:パシフィコ横浜
小間番号:E-17
展示物:1nm分解能位置決め装置、真空対応1nm分解能位置決めステージ

価格情報 50万円以上
納期 お問い合わせください
※1.5ヶ月
型番・ブランド名 10nmフィードバックステージシステム
用途/実績例 光学(放射光を含む)研究分野
各種検査装置(電子線顕微鏡、蛍光顕微鏡など)
特殊加工装置(微小スクラッチなど)

ラインナップ

型番 概要
FS-1020UPX リニアエンコーダ内蔵1nm分解能位置決めステージ 20mmストローク
FC-901U 1nm分解能位置決めステージ用のコントローラ
FC-511 10nm分解能位置決めステージコントローラ
FS-3200PX 10nm分解能位置決めステージ、可動範囲:200mm

カタログナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

取扱企業ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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