シグマ光機株式会社 10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。

基本情報10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

型式:FC-511
接続対象ステージ:FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V)
制御軸数:2
最小指令単位:10nm
インポジション範囲:±10nm(±30nm、±70nm 選択可)
最大動作速度設定:50mm/sec(接続ステージの性能に依存)
制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド)
電源:AC100V~240V

価格帯 50万円 ~ 100万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FC-511
用途/実績例 先端研究等の位置決め用途
光学系の位置決め
マイクロデバイスの評価時の位置決め

ラインナップ

型番 概要
FC-511 FC-501Aの後継機
FC-514 FC-511にスローダウン機能が付いたもの

カタログ10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

取扱企業10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

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