サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。
外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
基本情報サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
型式：FC-111
接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V)
制御軸数：2
最小指令単位：100nm
インポジション範囲：±100nm（±300nm、±700nm 選択可）
最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先）
制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド）
電源：AC100V～240V
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FC-111 |
| 用途／実績例 | 顕微鏡ステージ アライメント調整やディレイ調整などの光学系での位置決め 評価デバイスの位置決め |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-111 | FC-101の後継機 |
| FC-114 | FC-111にスローダウン機能が付いたものでロングスケールステージ用 |
カタログサブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
取扱企業サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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