サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
基本情報サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
型式：FC-411
接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品：FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V)、FS-1120θ(V)
制御軸数：2
最小指令単位：50nm
インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可）
最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先）
制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド）
電源：AC100V～240V
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FC-411 |
| 用途／実績例 | 顕微鏡ステージ用途 光学系のアライメント調整やディレイ調整用途 マイクロデバイス同士の接続用途 試験機や評価装置の位置決め用途 先端研究での位置決め用途 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-411 | FC-401の後継機 |
| FC-414 | FC-411にスローダウン機能が付いたものでロングスケールステージに対応 |
カタログサブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
取扱企業サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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