シグマ光機株式会社 サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向上に!

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。

基本情報サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

型式:FC-411
接続対象ステージ:FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品:FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V)、FS-1120θ(V)
制御軸数:2
最小指令単位:50nm
インポジション範囲:±50nm(±150nm、±350nm 選択可)
最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能が優先)
制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド)
電源:AC100V~240V

価格帯 50万円 ~ 100万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FC-411
用途/実績例 顕微鏡ステージ用途
光学系のアライメント調整やディレイ調整用途
マイクロデバイス同士の接続用途
試験機や評価装置の位置決め用途
先端研究での位置決め用途

ラインナップ

型番 概要
FC-411 FC-401の後継機
FC-414 FC-411にスローダウン機能が付いたものでロングスケールステージに対応

カタログサブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

取扱企業サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

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