シグマ光機株式会社
最終更新日：2013-08-23 16:50:37.0
FS-1020Xカタログ
基本情報FS-1020Xカタログ
FS-1020Xカタログ
0.1/0.05μm分解能の制御を可能にした
ストローク20mmのフィードバックステージ
【特徴】
○独自開発のリニアスケールを内蔵していながら
薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：60mm×60mm
○テーブル移動量：20mm
○繰返し位置決め精度：±0.1um,±0.2um
○走り平行度：10μm
○最小分解能：0.05um,0.1um
○最大移動速度：10mm/sec
○ボールネジ：φ4mm、リード1mm
○移動ガイド：クロスローラガイド
○駆動モータ：□28mm−5相ステッピングモータ
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 （詳細を見る）
取扱会社 FS-1020Xカタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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