株式会社テクニカルフィット高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

最終更新日：2020-08-26 14:28:24.0
印刷用ページ

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。

使用する水の量が少なく水膜のできにくい
既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット

最大30Hzで駆動する洗浄ノズル
5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ
コントロールユニットの組合せ

従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。

断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。

ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。

※液体の一定量をスプレーする
　測量＋スプレー塗布についてもご相談ください
※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。

関連リンク - https://technicalfit.com/

基本情報高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

【参考仕様】
■DP-Gun　　　　　1台
　・　本体
　・　ノズルチップ　標準洗浄幅　約110mm　または　約65mm　※1

■ポンプユニット　　　　1式
　・　ポンプ　※1
　・　コントロールユニット（DP-Gun用ドライバー2台分内蔵）
　・　操作パネル
　・　外部制御対応（スタート・ストップ・アラーム出力等）

■設定項目
　１　圧力 (供給圧力 2～10MPa)
　２　周波数 (スプレー回数 5～30Hz）
　３　パルス幅 (スプレー開時間 5～15ms）

　※1　ノズルチップの形状・ポンプ容量　は　洗浄の目的
　　　　必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります

■その他
　　DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、
　　スピン・エアーナイフによる乾燥、
　　他洗浄方法（超音波・薬液等）と合わせての装置化　等
　　ご要望に応じてご提案させて頂きます。

　※　写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと
　　　弊社デモ機（取付ステー・簡易洗浄槽付き）

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■各種マスク洗浄・　ローラー搬送装置としての使用・　単体での使用（ハンドガン方式） ■チップトレー洗浄・　高圧パルスジェット　→　US洗浄　→　オーブン乾燥 ■種ガラス用ローラー搬送による洗浄装置化・　ブラシ　→　高圧パルスジェット　→　　　リンス　→　エアーナイフ乾燥 ■ウェハー用カセット、キャリア、キャリアカセット、チップトレー等の立体物の洗浄・　多関節ロボットと組み合わせての内外面を洗浄（手作業を自動化） ■既存ラインの洗浄力強化・　既存の洗浄装置の洗浄槽の一部へ追加・　既存の洗浄装置の2流体スプレーと入替え