■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。
ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。
■長ストローク
最大400mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。
■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。
■可動タイプ
直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。
詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
■ステージ
最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して）
ストローク：20mm～400mm
最大移動速度：20mm/sec（ストロークや可動タイプにより異なります）
■コントローラ
制御軸数：2
最小指令単位：100nm or 50nm
最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます）
制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置 レーザー加工装置への応用 光学系の調整 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークのステージ |
| FS-1040X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークのステージ |
| FS-1050X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークのステージ |
| FS-1100X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、100mmストロークのステージ |
| FS-3150X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、150mmストロークのステージ |
| FS-1005Z | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、5mmストロークの昇降タイプステージ |
| FS-1010Z | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、10mmストロークの昇降タイプステージ |
| FC-411 | サブミクロン分解能ステージを50nm分解能で制御するコントローラ |
| FC-111 | サブミクロン分解能ステージを100nm分解能で制御するコントローラ |
| FS-3200X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、200mmストロークのステージ |
| FC-414 | サブミクロン分解能ステージを50nm分解能で制御するコントローラ、スローダウンセンサと原点センサの入力に対応 |
| FS-1120θ | 0.0001° or 0.00005°分解能（内蔵スケール読み取り値）、±4°ストロークの回転ステージ |
| FC-114 | サブミクロン分解能ステージを100nm分解能で制御するコントローラ、スローダウンセンサと原点センサの入力に対応 |
| FS-3300X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、300mmストロークのステージ |
| FS-3400X | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、400mmストロークのステージ |
カタログサブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
取扱企業サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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