シグマ光機株式会社 サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~400mmストロークのステージ

■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。
ステージコントローラにより、100nm(0.1μm)か50nm(0.05μm)分解能で動作します。

■長ストローク
最大400mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。

■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。

■可動タイプ
直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

基本情報サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

■ステージ
最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して)
ストローク:20mm~400mm
最大移動速度:20mm/sec(ストロークや可動タイプにより異なります)
■コントローラ
制御軸数:2
最小指令単位:100nm or 50nm
最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます)
制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 微細な位置決めを必要とする様々な分野。
検査装置及び露光装置
レーザー加工装置への応用
光学系の調整
バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど

ラインナップ

型番 概要
FS-1020X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、20mmストロークのステージ
FS-1040X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、40mmストロークのステージ
FS-1050X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、50mmストロークのステージ
FS-1100X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、100mmストロークのステージ
FS-3150X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、150mmストロークのステージ
FS-1005Z 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、5mmストロークの昇降タイプステージ
FS-1010Z 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、10mmストロークの昇降タイプステージ
FC-411 サブミクロン分解能ステージを50nm分解能で制御するコントローラ
FC-111 サブミクロン分解能ステージを100nm分解能で制御するコントローラ
FS-3200X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、200mmストロークのステージ
FC-414 サブミクロン分解能ステージを50nm分解能で制御するコントローラ、スローダウンセンサと原点センサの入力に対応
FS-1120θ 0.0001° or 0.00005°分解能(内蔵スケール読み取り値)、±4°ストロークの回転ステージ
FC-114 サブミクロン分解能ステージを100nm分解能で制御するコントローラ、スローダウンセンサと原点センサの入力に対応
FS-3300X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、300mmストロークのステージ
FS-3400X 100nm or 50nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、400mmストロークのステージ

カタログサブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

取扱企業サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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