ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にします！
『ナノフィルムメーカー』は、水晶振動子（QCM）によるセンシング
により、薄膜のナノオーダーでの膜厚制御が可能な薄膜製造装置です。
本装置により、アニオン性ポリーマーとカチオン性ポリマーの間に動く
クローン力を利用して吸着させ、連続的に膜を積層することにより生成
される機能性薄膜「交互吸着膜」を開発できるようになります。
物質の組み合わせを検討することにより、タッチパネルに使用される
電導性膜の製造などにも役立ちます。
【特長】
■ナノオーダーでの膜厚制御を実現
■自由にヘテロ構造を設計可能
■モノマ（Ru錯体など）の累積可能
■様々な機能性薄膜が開発可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報薄膜製造装置『ナノフィルムメーカー』
【応用した製品】
■ケミカルフィルタ
■ケミカルセンサー
■有機EL素子、オプティカルデバイス
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ薄膜製造装置『ナノフィルムメーカー』
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