薄膜製造装置『ナノフィルムメーカー』

ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にします！

『ナノフィルムメーカー』は、水晶振動子（QCM）によるセンシング
により、薄膜のナノオーダーでの膜厚制御が可能な薄膜製造装置です。

本装置により、アニオン性ポリーマーとカチオン性ポリマーの間に動く
クローン力を利用して吸着させ、連続的に膜を積層することにより生成
される機能性薄膜「交互吸着膜」を開発できるようになります。

物質の組み合わせを検討することにより、タッチパネルに使用される
電導性膜の製造などにも役立ちます。

【特長】
■ナノオーダーでの膜厚制御を実現
■自由にヘテロ構造を設計可能
■モノマ（Ru錯体など）の累積可能
■様々な機能性薄膜が開発可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。