有限会社メガトラスト 位置決めテーブル『PT100VST』
- 最終更新日：2016-11-28 18:01:59.0
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薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。
ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用
できます。
また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の
使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空
アプリケーションを提供することができます。
【特長】
■真空対応ステッピングモータを採用
■真空対応フォトセンサを採用
■並べて配置など複数設置に最適
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報位置決めテーブル『PT100VST』
【主要仕様（抜粋）】
■外形サイズ：W100×L266×H25[mm]
■テーブルサイズ：100×100[mm]
■移動量：100[mm]
■駆動：5相ステッピングモータ
■ボールねじ：Φ6mm リード1mm
■ガイド：リニアガイド
■質量：1.4［kg］
■主材質：アルミ合金
■表面処理：特殊Niめっき
■耐荷重：2.0[kg]
■理論分解能：2[μm]
■繰り返し位置決め精度：5[μm]
■ロストモーション：10[μm]
■真直度(高さ変動)：15[μm]
■ヨーイング・ピッチング：20[arcsec]
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ位置決めテーブル『PT100VST』
取扱企業位置決めテーブル『PT100VST』
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有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
ＭＥＧＡ−ＴＥＣＨ−Ｆｏｒｍａｔｉｏｎｓでは・・ 真空、耐熱、非磁性、クリーン、超小型・薄型、超精密などを キーワードに”一癖ある”特殊な環境対応の位置決めテーブル、 関連装置を「設計から製品、ＯＥＭ化まで」幅広く取り扱って います。
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