真空対応 位置決めテーブル『PT100VST』

薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル

当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。

ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用
できます。

また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の
使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空
アプリケーションを提供することができます。

【特長】
■真空対応ステッピングモータを採用
■真空対応フォトセンサを採用
■並べて配置など複数設置に最適

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。