層間ズレの分析や露光フィルムの測定などこれ1台で行えます
『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や
パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。
露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・
変形の分析が可能。
CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども
測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。
【特長】
■多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバック
■X線カメラのズーム機能
■大パターンから小パターンの高精度な測定が可能
■安定した測定
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報X線透過式2次元測定機『MVX-818』
【仕様】
■測定基板サイズ：700×600mm
■測定基板厚t：1＜6mm
■X線カメラ：1unit
■CCDカメラ：1unit
■X線発生装置：90Kv MaX 0.1mA Max
■最小表示単位：0.001mm
■周囲温度：22℃ ±1
■周囲湿度：60±10％RH
■電源：220V（3相）50/60Hz 3KW
■機械寸法：1750W×2050D×1760H
■重量：3000Kg
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログX線透過式2次元測定機『MVX-818』
取扱企業X線透過式2次元測定機『MVX-818』
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