X線透過式2次元測定機『MVX-818』

層間ズレの分析や露光フィルムの測定などこれ1台で行えます

『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や
パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。

露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・
変形の分析が可能。
CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども
測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。

【特長】
■多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバック
■X線カメラのズーム機能
■大パターンから小パターンの高精度な測定が可能
■安定した測定

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。