株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
- 最終更新日：2016-12-09 15:43:28.0
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！
『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型
クリーンロボットです。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、
装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております
ので、是非お気軽にご相談下さい。
【特長】
■アームバリエーションは100mmから選択可能
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能
■動作モニター装備
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
【その他の特長】
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクリーンロボット『SHR3000シリーズ』
取扱企業クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
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電子機器製造販売
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