クリーンロボット『SHR3000シリーズ』

『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型
クリーンロボットです。

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、
装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。

その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております
ので、是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは100mmから選択可能
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能
■動作モニター装備

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造
装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。

その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております
ので、是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮
■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能
付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。

保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の
ウエハ搬送に適しております。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは156mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシール使用

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に
適しております。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは156mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシール使用

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）