株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット!

『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造
装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。

その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております
ので、是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮
■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

【その他の特長】
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログクリーンロボット『STHR4000シリーズ』

取扱企業クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

jel_logo.jpg

株式会社ジェーイーエル

電子機器製造販売

クリーンロボット『STHR4000シリーズ』へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社ジェーイーエル