株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』
- 最終更新日：2016-12-09 15:51:26.0
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酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！
『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能
付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の
ウエハ搬送に適しております。
他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。
【特長】
■アームバリエーションは156mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシール使用
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』
【その他の特長】
■部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
■Z軸部防水構造にジャバラ使用
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクリーンロボット『SWHR3156シリーズ』
取扱企業クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』
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電子機器製造販売
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