クリーンロボット『STWHR4156シリーズ』ジェーイーエル

酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適！

『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に
適しております。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは156mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシール使用

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.jel-robot.co.jp/products/STWHR4156.html

基本情報クリーンロボット『STWHR4156シリーズ』

【その他の特長】
■部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
■Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能
■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。