株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』
- 最終更新日：2016-12-09 15:57:44.0
- 印刷用ページ
装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！
『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型
クリーンロボットです。
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ
搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。
【特長】
■アームバリエーションは100mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下
■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能
■動作モニター装備
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』
【その他の特長】
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』
取扱企業クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』
-
-
電子機器製造販売
クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。