クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』

『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型
クリーンロボットです。

小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ
搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは100mm
■Z軸バリエーションは200mmと300mm
■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下
■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能
■動作モニター装備

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『SSCR2090Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型
クリーンロボットです。

小フットプリント化と軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及び
LED製造装置等の小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化
できます。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■可搬重量はアーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ)
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『SSCR3115Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型
クリーンロボットです。

装置レイアウトの小型化が可能。また小フットプリント化と軽量化により、
半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウエハ搬送に
最適です。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■可搬重量はアーム第3関節換算0.2kgf以下(ワークのみ)
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）