株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』
- 最終更新日：2016-12-09 15:33:50.0
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！
『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型
クリーンロボットです。
半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置
レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。
【特長】
■アームバリエーションは100mm、130mm、160mm、200ｍｍ
■Z軸バリエーションは200mm～選択可能
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』
【その他の特長】
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』
取扱企業クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』
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電子機器製造販売
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