クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！

『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型
クリーンロボットです。

半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置
レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

また、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボット「STCR
4000Sシリーズ」も同時掲載しております。

【特長】
■アームバリエーションは100mm、130mm、160mm、200ｍｍ
■Z軸バリエーションは200mm～選択可能
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。