クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』ジェーイーエル

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造
装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは100mm～選択可能
■Z軸バリエーションは200mm～選択可能
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮
■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.jel-robot.co.jp/products/prd_result1.ht…

基本情報クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

【その他の特長】
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。