4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型
クリーンロボットです。

2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造
装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。

【特長】
■アームバリエーションは100mm～選択可能
■Z軸バリエーションは200mm～選択可能
■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下
■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮
■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）