一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

WA(ウエハアナライザー)は、φ76~300mmのウエハを昇温加熱することにより、ウエハ表面に付着している有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。またヘキサデカンによる換算定量も可能です。

基本情報【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

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用途/実績例 酸化物半導体・製造装置・部品の分析です

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