【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

金属表面の変色や異物の簡便的な調査にはSEM-EDX分析やAES分析が適していますが、変色や異物が薄い・小さい場合は、表面のごく浅い領域（4～5nm程度）の情報が得られるAES分析が有効です。
MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM像で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色部をAES分析とSEM-EDX分析で評価し、比較したデータをご紹介します。また、AES深さ方向分析を行った結果を併せてご紹介します。

基本情報【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価

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用途／実績例	LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品の分析です

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