瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、
マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて
動作に支障をきたす可能性があります。
シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける
可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、
エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。
このため半導体の製造設備に対し「SEMI-F47」の規格では
電圧低下50％継続時間0.2秒以下、または電圧低下30％継続時間0.5秒以下の
瞬時電圧低下に対して耐性を持つよう要求されています。
【瞬時電圧低下による損害例】
■製品不良 → バッチ処理工程設備（ロットアウト）
■装置故障 → 高額部品の故障等が発生
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基本情報【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？
【TSP（The Second POWER）の特長】
◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ
◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現
◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成
◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能
◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能
◎ SEMI F47-0706準拠、CEマーク取得済
◎ 2年保証
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体工場などの生産設備（CMP、CVD、DRY、IMP、PHOTO LITHO、洗浄機） ■産業用電気機器 ■通信機器 ■医薬品 ※詳しくはお気軽にお問合せください。 |
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