ICM株式会社 『クリーンオーブン』

最高使用温度280℃に対応!炉内クリーン度クラス100のオーブン

「クリーンオーブン」は、最高使用温度280℃に対応した、
炉内クリーン度クラス100のオーブンです。

高精度な温度分布を実現した「ボックス型クリーンオーブン」と、IR炉にも
対応可能な「枚葉多段型クリーンオーブン」の2タイプをご用意しております。

当製品は、LCD(液晶ディスプレイ)・アレイカラーフィルターなどの
工程における乾燥、焼成、硬化に最適です。

【特長】
■最高使用温度280℃に対応
■炉内クリーン度クラス100
■優れた湿度分布
■ロボット使用による複数オーブン対応可能

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報『クリーンオーブン』

【仕様】
■対応サイズ(枚葉実績)
・最小 約200mm角
・最大 約2000mm角
■加熱方式
・熱風循環方式
・遠赤外線(IR)方式
・ホットプレート(HP)方式
■冷却方式
・コールドプレート(CP)方式
・空冷方式 他

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【適用分野】
■LCD(液晶ディスプレイ)・アレイカラーフィルターなどの工程における乾燥、焼成、硬化 など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ『クリーンオーブン』

取扱企業『クリーンオーブン』

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ICM株式会社

【取扱製品】 ■枚葉式装置 ・小型ブラシ洗浄装置 ・枚葉式洗浄装置 ・大型枚葉式洗浄装置 ・テープ研磨洗浄装置 ・保護フィルム剥離付洗浄装置 ■OVEN ・枚葉式多段型クリーンオーブン ・ボックス型オーブン ■ロールtoロール ・PR塗布装置   ・現像装置    ・エッチング装置 ・剥離装置    ・各種メッキ装置 ・洗浄装置 ・巻取、巻出装置 ・エアーシャフト ■搬送・省力システム ・各種コンベア  ・ローダー、アンローダー ■デモ機 ・保護フィルム剥離付洗浄装置 ・テープ研磨洗浄装置 ・RtoR ウェット装置 ■その他 ・現像装置 ・枚葉式エッチング装置

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