【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TDS：昇温脱離ガス分析法

TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス（単原子層レベル）についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱離したガスの分子数も算出可能です。
代表的な材料別にTDSを適用した例をご紹介します。

基本情報【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

詳しいデータはカタログをご覧ください

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	ディスプレイ・酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品の分析です

カタログ【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

PDFダウンロード電子ブックをすべて見る

取扱企業【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。