レーザー・マーキング/リペアシステムマイクロポイントフォトニックインストゥルメンツ

既存の顕微鏡へ取付けて、微小レーザーマーキングや微小なレーザー加工ができます。

・既存顕微鏡へ取付可能。
・あらゆる素材にマーキング。波長依存が少。
・最小レーザースポット約0.3um。
・透明体内部や、透明体を透過し下部の素材にマーキングも可能。
・SEM、AFM、FIBの前処理としてターゲットマーキング。

自動ステージと専用ソフトウエアを組み合わせて、矩形や文字をマーキングすることも可能です。
また、KLAなどの欠陥検査装置の欠陥マップをレビューしながらマーキングも可能です。

関連リンク - http://www.pij.co.jp/Products/PI/MP_IND.htm

基本情報レーザー・マーキング/リペアシステムマイクロポイント

・回折限界に近似の微小スポットが得られます。
　（100X対物使用時で0.3μm以下）
・接眼から目視観察しながらレーザーの照射が可能です。
・試料の深さ方向に選択的な切除が可能です。
・ファイバー接続方式のため、設置・移動が簡単におこなえます。
・ダイレーザー採用、目的により波長を変えることが出来ます。
　（選択可能範囲　365nm～900nm）
・パルスエネルギー　50μJ以上、パルス幅　2-6 nsec.
・ビームのアライメント、パワーの調節が容易に行えます。

価格情報	標準組合せは500万円から600万円取付け顕微鏡や目的により変動します。お気軽にお問い合わせください。
価格帯	500万円 ~ 1000万円
納期	お問い合わせください ※受注後約2ヶ月（状況により即納可）
型番・ブランド名	フォトニックインストゥルメンツ　MicroPoint
用途／実績例	・シリコンウエハ上の微小欠陥やパーティクル周辺にマーキング。・SiC（シリコンカーバイト）を裏面観察しながら、内部にマーキング・ガラス下のアルミパターンにマーキング・FIB切断の目印としてマーキング・樹脂レンズ内の異物周辺にマーキング・ボンディングワイヤの切断・Cuパターンの切断・ITO膜の剥離・ガラス上の金蒸着膜の剥離その他、ございます。