株式会社エイエルエステクノロジー 有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』

マルチチャンバー化に対応可能!有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機

『E-70シリーズ』は、有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機です。

他のシリーズ機と接続できるためマルチチャンバー化も可能。
将来的にはグローブボックスの接続なども行えます。

【特長】
■有機デバイス研究を目的
■小型の機種
■他シリーズの蒸着装置と接続が可能
■将来的にはグローブボックス接続が可能

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』

【構成(E-70Basic)】
■基板サイズ:70x70 max
■ポンプ:ターボP
■蒸発源:8源 max
■同時蒸着:3源max

【構成】
■本体(E-70Basic)
■ターボ排気
■蒸発源 8式(同時2源)
■膜厚計センサー2式
■膜厚計 1式
■バルブ操作 スイッチ

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

カタログ有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』

取扱企業有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』

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株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売 ・有機EL研究用蒸着装置 ・昇華精製装置 ・キャリアボックス ・試験用チャンバー ・スパッタリング装置 ・UHV排気装置 ・特注真空装置 ・特注真空応用部品 ・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売 ・ULVAC社の扱う真空部品などの販売 ・ファイファー製品の販売(ターボポンプ、真空計 等) ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売  (東京都公安委員会承認の古物商資格取得) ■輸入販売業務 ・R.D.Mathis(米国ロスアンゼルス) 蒸着ボートの販売

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