株式会社エイエルエステクノロジー　会社案内

株式会社エイエルエステクノロジーは、多くのお客様の御指導をいただきながら、
我々の独自の技術（真空技術、グローブボックス技術）でお客様のアイデアを
形として実現してまいりました。

科学技術は常に進歩してまいります。当社は今後も、お客様と協力関係を優先とし、
性能、価格、品質そしてサービスにてベストをつくしてまいります。

応用物理学会月刊誌に公告掲載もしております。
今後とも宜しくお願いいたします。

【事業内容（抜粋）】
■真空装置事業
・有機デバイス研究用蒸着装置
・昇華精製装置（トレインサブリメーション装置）
■計測装置事業
・低エネルギー逆光電子分光装置（LEIPS装置）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、内部の水分・酸素濃度1ppm以下を保証する
『ガス循環精製型 グローブボックス』の製造・販売を行っています。

万が一、グローブや圧力計が壊れた場合などに異常を検知し、
ガス供給を自動停止する「N2 セーフティ機構」を標準装備。

また、停電や圧力センサーの動作不良が起きた場合でもグローブの破裂を防ぐ
「N2 ハザードバルブ機構」といったオプションも用意しております。

【特長】
■真空装置と組み合わせたセット販売も可能
■酸欠などの事故を防ぐ独自のWSafety機構標準搭載
■自社製品だからこそ実現可能な低価格・高付加価値を実現
■お客様のニーズに合わせカスタマイズ
　・有機溶剤対応型循環機能&有機溶剤トラップ
　・ボックス内にガス、電力、データを取り入れる各種フィードスルー
　・既存の装置との接続も可能

※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。 （詳細を見る）

当社では、『uot有機材料用昇華精製装置』基礎研究用から小規模生産用まで対応する
『uot有機材料用昇華精製装置』を設計・製造・販売しております。


石英回収管方式を採用することにより、石英外管を取り外すことなく
精製した材料を取り出すことができます。

【特長】
■温度差が生じないように独自の特殊鋼管を使用
■ヒーターの位置・数量も選べ、細かい温度勾配の制御が可能
■様々な石英ガラス管のサイズをご用意
■精製方法の用途に合わせ2種類のガラス形状を用意
■石英回収管方式を採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当資料では、有機材料用昇華精製装置について紹介しています。

「有機半導体材料の昇華精製」をはじめ、
「昇華精製の原理」や
「昇華精製の実際」などを掲載。

また、「昇華精製装置の構成」や「昇華精製後の試料回収管」を
図と共に解説しています。

【掲載内容】
■有機半導体材料の昇華精製
■昇華精製の原理
■昇華精製の実際

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当カタログでは、グローブボックスシステムについて掲載しています。
当社は、国内メーカのため特注も可能で、低価格も実現できます。

素材を入れる入口(装置の右側の煙突のようなもの)が大きく、そことは別に
小さな入口も設けることで、真空にするまでの時間を短縮することが可能。

全体的に横幅のサイズが大きいので、より多く入れることができます。

【掲載内容】
■グローブボックスの自社製品化への歩み
■特長
■標準仕様
■グローボックス補助ツール
■グローブボックスの種類
■ガス循環精製型のグローブボックス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『P-20』は、小径サイズの石英炉を持った、極少量材料向け昇華精製装置です。
原材料のロスを軽減でき、希少な有機材料の研究・開発にも適しています。

独自の均熱管使用の傾斜温度構造により、なだらかな温度勾配での高純度精製が可能。
また、上位モデル「P-100/150/200」と同等の性能でありながら、卓上サイズにまで小型化。
設置が容易で、標準品のため低価格な点も特長です。

【特長】
■極少量材料での高純度な昇華精製に対応
■PID制御による室温～400℃までの加熱が可能
■加熱ブロックの分割・温度コントロールに対応
■ヒーター・熱電対の増設可能
■標準化によるリーズナブルな価格設定

※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『E-70シリーズ』は、有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機です。

他のシリーズ機と接続できるためマルチチャンバー化も可能。
将来的にはグローブボックスの接続なども行えます。

【特長】
■有機デバイス研究を目的
■小型の機種
■他シリーズの蒸着装置と接続が可能
■将来的にはグローブボックス接続が可能

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

低エネルギー逆光電子分光装置『LEIPS』は、
有機半導体を損傷させることなく高精度なLUMO準位測定ができる低エネルギー逆光電子分光装置。

照射するエネルギーを分子の共有結合より低くすることで、試料の損傷を回避。
また光検出に高性能フィルターを採用し、分解能0.5eV以下を達成しました。

従来機「IPES」をベースに、これまで抱えていた課題を解決しています。

【特長】
■高感度
■高分解能0.5eV以下
■有機半導体の開発や性能UPに貢献

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な
『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております

GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。

KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で
水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。

各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。

【特徴】
[研究用小型真空蒸着装置]
○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、
　基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能

[不活性ガス循環精製式GBOX]
○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計
○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能 （詳細を見る）

当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な
「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。

【蒸着装置部・主要仕様】
○本体・チャンバー
→蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ）
→エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140°
→アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm）
→外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
→真空廃棄ポート（NW40）1ポート
○基板ホルダー構造
→最大基板サイズ：φ110mm
→基板加熱もしくは基板冷却構造 （詳細を見る）

当社の『蒸着装置』は、小型からハイエンドモデルまで
すべて共通のコンセプトで設計。

使いやすい角型チャンバーを採用し、グローブボックスと接続できるほか
他の真空チャンバーと連結可能です。
さらに蒸発源配置を放射状配置にすることにより、8源化を実現するなど
お客様のご意見や培った設計経験をもとに使いやすさを追求。

太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に適しております。
ただいま総合カタログをプレゼント中！

【特長】
■搬送位置ずれなし！信頼性の高い自社製の搬送ロッド
■ドライな排気系を使用
■自動排気系（タッチパネル）
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

当社では、お客様のご要望にお応えするため各種お役立ちツール
『真空関連機器およびオリジナル関連機材の販売　洗浄ジグなど』
を設計・製造・販売しております。

【特徴】
[洗浄ジグ]
○お客様のご希望に合わせたガラス基板対応
[有機物用蒸着ボート]
○米国マチス社製
○お客様のニーズにあった種類のボードをご提供
[キャリアボックス]
○グローブボックス内で成膜された基板を、大気に触れないように別の場所に搬送
[計測チャンバー]
○真空環境下で有機ELデバイスの光学特性を測定 （詳細を見る）

当社では、工具を使用しないで蓋ができる
『周辺機器　計測チャンバー　KC-94』を設計・製造・販売しております。

【特徴】
○有機薄膜太陽電池の効率測定に使用
○蒸着終了後に大気に触れる事なくグローブボックスまで基板を搬送
○擬似太陽光下にて変換効率を測定する場合に用いる
○ミニアンテチャンバーから取り出すために円筒形をしている（標準Φ94ｍｍ）
○グローブボックス内にてグローブを使用して工具を使用しないで蓋ができる
○グローブボックス内にて蓋をするのでチャンバー内部をN2環境下に保持
○排気ポート（排気用バルブ付き、ベントバルブ付き）も承る （詳細を見る）

当社では、今までの当社の技術が蓄積された設計コンセプトを複合した
『周辺機器　大気圧プローバーシステム（グローブボックス内）』
を設計・製造・販売しております。

【特徴】
○グローブボックス内用プローバーシステム
○グローブボックス内で使い易いように設計
○大型ハンドル採用
○試料ステージ移動機構
○CCDカメラ移動機構
○コンパクトなサイズでグローブボックス内で場所をとらない
○信号線は専用フィードスルにより、グローブボックス外部に取り出し可能
○カメラ用モニターはグローブボックス外部に設置可能 （詳細を見る）

当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム
『周辺機器　真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。

【特徴】
○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と
大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能
○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ）
○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート
○真空排気ポート（NW40)：1ポート
○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ　移動量±5ｍｍ
　　　　　　　　　　　　　　目盛り付き移動シール部　真空ベローズ
○プローブ先端金具：先端部首振り可能（ねじ固定式）
○探針：タングステン針（先端25μｍ）
○試料台寸法：φ70ｍｍ接地型
○最大基板：口30ｍｍ
○高真空バルブ：NW40アングルバルブ （詳細を見る）

当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた
『有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。

【特徴】
○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能
○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ）
○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
○真空排気ポート（NW40）1ポート
○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ
○基板加熱もしくは基板冷却機構
○蒸発源：2源（同時2源）
○水晶膜厚計、基板シャッター付き
○高真空ポンプ：ターボポンプ （詳細を見る）

当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える
『有機デバイス蒸着装置　E-100J』を設計・製造・販売しております。

※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。

【特徴】
○「E-100」の機能を生かした下位モデル
○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている
○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置
○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能
○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置
○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製
　（E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能
○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備 （詳細を見る）

当社では、数グラム単位の精製が可能な『昇華精製装置　P-100 Series』を製造販売しております。

【特徴】
○原材料の投入量が数グラム前後の少量精製に適したサイズ
○試料の出し入れが容易な構造
○450℃までの加熱が可能なので殆どの材料に適用する
○熱電対をヒータ部以外に、4個所設けているので最適な
　再析出ポジションを決める目安にすることができる
○精製状態を確認することができる
○排気系にはファイファー製ターボ分子ポンプとメンプレンポンプを使用し、
　完全ドライな排気系の設置により、クリーンな真空が容易に得られる
○大型サイズの液体窒素トラップを備えている
○メンテナンスの容易な構造
○真空計には大気圧から高真空まで連続測定が可能なフルレンジタイプの
　真空計を装備
○クローブボックスへの接続が可能（特注仕様）
○省スペース設計で高いパフォーマンスを確保
 （詳細を見る）