シナジーオプトシステムズ株式会社 光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』
- 最終更新日:2017-06-16 11:22:47.0
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電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム
『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、
フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ
レベルで解析するシステムです。
当製品は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用
プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、
測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・
データ収集を行うシステムです。
また、セミオートプローバとの組み合わせにより、ウエハの自動測定に対応することも可能です。
【特長】
■発光素子・受光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
■各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
■当社製光計測用光学系M-Scopeシリーズ各種光学系を搭載可能
■光計測・解析ソフトウエアOptometrics Customized Versionを搭載
■個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』
【応用】
■発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
・VCSEL等発光素子のI-V-L特性、発光ビームプロファイル解析、発光波長解析、
変調周波数特性解析等
■各種受光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
・フォトダイオード等受光素子のI-V特性、光感度、暗電流、容量、変調周波数
特性、立上り・立下り、トレランス、クロストーク等
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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