あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。
耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による
高い耐食性を発揮します。
【ハーシュプロセス対応例】
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD
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基本情報ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』
【ラインアップ】
■SDE120TX
■SDE303TX
■SDE603TX
■SDE1203TX
■SDE20M12TX
■SDE30M12TX
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|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』
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