樫山工業株式会社 ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による
高い耐食性を発揮します。

【ハーシュプロセス対応例】
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

【ラインアップ】
■SDE120TX
■SDE303TX
■SDE603TX
■SDE1203TX
■SDE20M12TX
■SDE30M12TX

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カタログドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

取扱企業ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

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樫山工業株式会社

○真空機器事業 ・半導体・液晶業界向け水冷ドライ真空ポンプ ・一般産業・研究用途向け空冷式ドライ真空ポンプ ・水封式ポンプ ○スキービジネス事業

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