ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

真空技術の集大成！最も困難なプロセスで最も優れた信頼性を発揮します

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による
高い耐食性を発揮します。

【ハーシュプロセス対応例】
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

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