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最終更新日:2017-06-19 17:15:36.0

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ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

基本情報ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

真空技術の集大成!最も困難なプロセスで最も優れた信頼性を発揮します

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による
高い耐食性を発揮します。

【ハーシュプロセス対応例】
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』 製品画像

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による
高い耐食性を発揮します。

【ハーシュプロセス対応例】
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

樫山工業株式会社

○真空機器事業 ・半導体・液晶業界向け水冷ドライ真空ポンプ ・一般産業・研究用途向け空冷式ドライ真空ポンプ ・水封式ポンプ ○スキービジネス事業

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