世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを
両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。
あらゆる製造装置に組込みが可能です。
ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。
【仕様】
■消費電力0.35kW
■A3以下の230×450mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』
【ラインアップ】
■MU100X
■MU180X
■MU300X
■MU600X
■MU1200X
■MU20M18X
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』
取扱企業ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』
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