ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能

『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを
両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。

あらゆる製造装置に組込みが可能です。
ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。

【仕様】
■消費電力0.35kW
■A3以下の230×450mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。