アルバック成膜株式会社
最終更新日:2017-07-10 15:39:50.0
アルバック成膜株式会社 会社案内
基本情報アルバック成膜株式会社 会社案内
半導体・フラットパネルディスプレイ用材料で世界をリードします!
アルバック成膜株式会社は、真空の総合メーカーとしてお客様に
ソリューションを提供し続けている株式会社アルバックのグループ企業
として、真空技術を生かした材料加工のリーディングカンパニーとして
発展してまいりました。
当社の半導体用ハードマスクブランクスやディスプレイ等用大型マスク
ブランクスは半導体や液晶ディスプレイの分野の飛躍的な成長を支えて
おります。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【営業品目】
■超LSI用ハードマスクブランクス
■ハーフトーン型位相シフトマスクブランクス
■石英大型マスクブランクス
■各種デバイス用薄膜・パターン加工
■各種ガラスMEMS加工
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体集積回路『ハードマスクブランクス』
『ハードマスクブランクス』は、主に石英やソーダライムと言ったガラス
基板上に、クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成し、
感光性材料(電子線用、レーザー用レジストなど)を塗布した製品です。
低反射クロムマスクブランクスとハーフトーン型位相シフトマスク
ブランクスがあり、リソグラフィー用原版として、LSIの製造に
用いられるマスクに使用されます。
【特長】
■クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成
■感光性材料を塗布した
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
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