島田テクノロジー株式会社 『スピン洗浄装置』
- 最終更新日:2017-08-03 09:58:34.0
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高速なクリーンテクノロジーで、多種多様化する洗浄ニーズにお応えします!
『スピン洗浄装置』は、島田テクノロジー株式会社が取り扱っている製品です。
「水とエア」を中心とした環境配慮型洗浄を採用。全周型排気カップ構造による
高効率排気も実現しています。
また、多彩な洗浄ツールによる高歩留まりを実現。さらに、ウェーハ型・角型基板に
対応したハンドリング、幅広いサイズに対応したユニットラインアップを
ご用意しています。
【特長】
■高性能化で省エネに貢献
■多彩な洗浄ツールによる高歩留まりを実現
■多彩なサイズ・基板にもマッチ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報『スピン洗浄装置』
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■研磨後洗浄、CMP後洗浄 ■成膜前洗浄、蒸着前洗浄 ■結合前洗浄 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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