【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

多点マッピング測定により膜厚分布を可視化

蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。
本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。
多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布の評価をすることが可能です。

基本情報【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

詳しいデータはカタログをご覧ください

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	パワーデバイス・照明・製造装置・部品の分析です

カタログ【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

PDFダウンロード電子ブックをすべて見る

取扱企業【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。