【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です

IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)はパワー半導体モジュールとして、家電用品から産業機器まで様々な製品に使用されています。
IGBTは特性改善のためにライフタイム制御が行われていますが、この制御はドリフト層に欠陥（ライフタイムキラー）を作成することによって行われています。断面からの低温顕微PL分析を行うことによって、ライフタイムキラーに関する知見を得ることが可能です。

基本情報【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

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用途／実績例	パワーデバイス・LSI・メモリ・電子部品の分析です

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取扱企業【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

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