循環式メタルフリーオゾン水生成装置『OWF-C5L30P』エコデザイン

部品等の精密洗浄用途に好適なオゾン水生成装置！小型でありながら大流量かつ安定的にオゾン水が使用できます！

部品等の精密洗浄用途に好適なオゾン水生成装置です。
小型でありながら大流量かつ安定的にオゾン水が使用できます。

【特長】
■循環方式採用：溜まり水・捨て水が極めて少ない
　　　　　　　　濃度の立ち上がりが早い（1分でオゾン水を生成）
　　　　　　　　洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定
■メタルフリーオゾン水：独自技術により半導体洗浄に適したオゾン水を生成
■小型・軽量・冷却水不要：外寸611Ｗ×590Ｄ×1317Ｈ、重量約87ｋｇ
　　　　　　　　　　　　　冷却用ラジエータを搭載

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

関連リンク - https://www.ecodesign-labo.jp/

基本情報循環式メタルフリーオゾン水生成装置『OWF-C5L30P』

【仕様】一部抜粋
■冷却方式：ラジエータ循環水冷方式
■オゾン水濃度測定：内臓　紫外線オゾン水濃度計
■消費電力：1ｋｗ

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用途／実績例	半導体製造などの工場で使用されます。半導体洗浄の分野では、有機物除去や金属除去に効果があるオゾン水濃度として20ppmがよく用いられております。半導体のレジスト剥離という用途の場合には、100ppm以上のオゾン水が用いられることもあります。 ※詳しくはお問い合わせください。